El objetivo de la asignatura es que los estudiantes adquieran un conocimiento básico de los procesos tecnológicos más importantes que se aplican a materiales semiconductores utilizados fundamentalmente en el ámbito de la nano y microelectrónica. Además, se explicarán los principales efectos que dichos procesos tecnológicos tienen en las pro-piedades ópticas y eléctricas así como su aplicación en dispositivos optoelectrónicos.
| Tema | Nº de horas presenciales |
| I.Introducción a los materiales semiconductores | 4 |
| II.Fabricación de materiales semiconductores | 2 |
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III. Epitaxia de materiales semiconductores III.1 Técnica de Epitaxia Fase Líquida (LPE) III.2 Técnica de MOCVD III.3 Técnica de MBE |
6 |
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IV. Técnicas de dopaje de materiales IV.1 Dopaje por difusión IV.2 Dopaje por implantación iónica |
4 |
| V. Oxidación Térmica | 2 |
| VI. Deposición en fase vapor (CVD) de materiales aislantes | 2 |
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VII. Metalización |
2 |
| VIII. Ataques Químicos húmedos y secos | 2 |
| IX. Litografía óptica y por haz de electrones | 2 |
Convocatoria ordinaria:
La asignatura se aprobará cuando se obtenga una calificación mayor o igual a 5 puntos sobre un total de 10. Dicha calificación es la suma de las calificaciones correspondientes a las diferentes actividades de evaluación, con los siguientes pesos:
• Primera entrega de problemas (First part of the course) : 10%
• Segunda entrega de problemas (Second part of the course) : 15%
• Tercera entrega de problemas (Third part of the course) : 15%
• Prueba final escrita (incluye todos los temas del curso): 60%
Convocatoria extraordinaria:
La evaluación de la asignatura en su convocatoria extraordinaria se realizará mediante una única prueba final escrita a celebrar en la fecha que determine la dirección del Máster, con independencia de los resultados parciales obtenidos durante el curso.
Enlaces:
[1] https://www.die.upm.es/category/categoria/programa-master
[2] https://www.die.upm.es/sites/default/files/TCSE%20-%20GA_09AN_93000712_1S_2016-17.pdf
[3] https://www.die.upm.es/perfil/miguel-angel-s%C3%A1nchez-garc%C3%AD-0
[4] https://www.die.upm.es/perfil/alvaro-de-guzm%C3%A1n-fern%C3%A1ndez-gonz%C3%A1lez
[5] https://MISE
[6] https://www.die.upm.es/perfil/adri%C3%A1n-hierro-cano-0
