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Tecnología de Semiconductores (TS-1 / 2016-2017) **No se ofrece**

Documento electrónico: 
Créditos Totales: 
4.0
Fechas de impartición: 
Primer semestre
Tipo de asignatura: 
Itinerario I2
Objetivos docentes: 

El objetivo de la asignatura es que los estudiantes adquieran un conocimiento básico de los procesos tecnológicos más importantes que se aplican a materiales semiconductores utilizados fundamentalmente en el ámbito de la nano y microelectrónica. Además, se explicarán los principales efectos que dichos procesos tecnológicos tienen en las pro-piedades ópticas y eléctricas así como su aplicación en dispositivos optoelectrónicos.

Programa: 



                                               Programa
Tema Nº de horas presenciales
I.Introducción a los materiales semiconductores 4
II.Fabricación de materiales semiconductores 2
III. Epitaxia de materiales semiconductores
III.1 Técnica de Epitaxia Fase Líquida (LPE)
III.2 Técnica de MOCVD
III.3 Técnica de MBE
6
IV. Técnicas de dopaje de materiales
IV.1 Dopaje por difusión
IV.2 Dopaje por implantación iónica
4
V. Oxidación Térmica 2
VI. Deposición en fase vapor (CVD) de materiales aislantes 2
VII. Metalización
 
2
VIII. Ataques Químicos húmedos y secos 2
IX. Litografía óptica y por haz de electrones 2

 

Evaluación: 

Convocatoria ordinaria:
La asignatura se aprobará cuando se obtenga una calificación mayor o igual a 5 puntos sobre un total de 10. Dicha calificación es la suma de las calificaciones correspondientes a las diferentes actividades de evaluación, con los siguientes pesos:
• Primera entrega de problemas (First part of the course) : 10%
• Segunda entrega de problemas (Second part of the course) : 15%
• Tercera entrega de problemas (Third part of the course) : 15%
• Prueba final escrita  (incluye todos los temas del curso): 60%

Convocatoria extraordinaria:
La evaluación de la asignatura en su convocatoria extraordinaria se realizará mediante una única prueba final escrita a celebrar en la fecha que determine la dirección del Máster, con independencia de los resultados parciales obtenidos durante el curso.
 

Profesorado
Más Información
Código de la asignatura: 
93000712
Número del curso al que pertenece dentro de la titulación: 
5
Centro de impartición: 
ETSIT
Curso académico de impartición: 
2015-2016
Bibliografía: 

4. MATERIAL DOCENTE Y BIBLIOGRAFIA
El material docente consiste en una colección de transparencias de las diferentes clases imparti-das, que serán totalmente accesibles a través de la página Web de la asignatura, incluso con antelación a la impartición de la clase correspondiente.
No se sigue un libro en particular, si bien se recomiendan varios para consulta, todos ellos dis-ponibles en la biblioteca del centro:
 S.M. Sze, “Physics of Semiconductor Devices”. John Willey & Sons, 3rd edi-tion (2007)
 - G.S. May, S.M. Sze, “Fundamentals of Semiconductor Fabrication”, John Wi-ley & Sons (2003).
 

Tribunal
Secretario: